表面粗糙度

測定范围/分解能

Z：800μm/0.08nm

测量速度

0.05～2mm/s

测针

R2μm 0.75mN以下

轮廓形状

测定精度

Z：±（2.5+0.5×ｌ H ｌ）μm以下 H：変位(mm)
X：±（2.5+0.02L)μm以下 L：測定长（mm）

測定范围

Z：30mm X：55mm

测针

R25μm 10～30mN