測定范围 Z：50mm X：100mm 測定精度
測定范围 Z：60mm X：100mm 测针
測定范围 相对基准圆±1.2mm、150°的范围 基准圆半径
測定精度 Z：±（2.5+0.5×IHI）μm以下 H：変位（mm） X：±（2.5+0.02L）μm以下 L：测量长度（mm）
測定范围 Z：50mm X：100mm 测定精度
轮廓测定机EF550-G18/-G18D
轮廓形状测定机EF651D
表面轮廓测定机REF100
轮廓形状测定机 EF550-M50/-M58/-M58D
轮廓形状测定机 EF650