轮廓测定机EF550-G18/-G18D
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測定范围 |
Z：50mm X：100mm |
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測定精度 |
Z：±0.25%/全量程 |
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X轴光栅尺分解能 |
0.1μm |
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测定倍率 |
纵横均为1～200倍 |
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上下移动范围 |
200mm |
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