轮廓形状测定机 EF550-M50/-M58/-M58D
測定精度 |
Z:±(2.5+0.5×IHI)μm以下 H:変位(mm) |
分解能 |
Z:0.25μm X分辨率:0.1μm |
取样数/最小间隔 |
Max 64,000点/Min 0.5μm |
測定范围 |
Z:30mm X:50mm |
表示倍率 |
纵(Z)、 横(X):1~2,000倍 |
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