轮廓形状测定机 EF550-M50/-M58/-M58D
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測定精度 |
Z：±（2.5+0.5×IHI）μm以下 H：変位（mm） |
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分解能 |
Z：0.25μm X分辨率：0.1μm |
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取样数／最小间隔 |
Max 64,000点／Min 0.5μm |
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測定范围 |
Z：30mm X：50mm |
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表示倍率 |
纵（Z）、 横（X）：1～2,000倍 |
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